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熱式氣體質量流量控制器/流量計主要應用在量程范圍從5sccm—1500slm之間氣體流量的測量和控制,采用新型傳感制作工藝,具有本體顯示、數模一體,隨意切換、多種通訊、響應速度快、準確度高、流量控制穩定、壓力范圍寬、線性度好等優點,適用于絕大多數干燥、干凈的氣體(及少數腐蝕性氣體)。
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