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產品型號:SD-S030
更新時間:2024-11-16
廠商性質:代理商
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☆ 氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量單位:SCCM(標準毫升每分鐘)、SLM(標準升每分鐘)
標準狀況:溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale)表示滿量程
》流量計特征
--全數字構架 --更快的響應速度
--寬壓力范圍 --出色的線性度
--新型傳感制作工藝
流量規格(氮氣) | 0-10sccm/10sccm-50slm |
控制量程 | 2%-100% |
精度 | ≤±1.0%F.S |
線性 | ≤±0.5%F.S |
重復性 | ≤±0.2%F.S |
閥門類型 | 常閉閥 |
響應時間 | 1-3sec |
最大耐壓 | 0-50Bar |
通信信號 | 0-5V/4-20mA/Rs485 |
供電方式 | 14VDC--27VDC (300mA) |
泄漏率 | 1×10-9atm. cc/sec He |