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離子束濺射薄膜壓力傳感器,應用*的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,將應變電橋 直接制作在金屬測壓膜片上。由于丌用傳統的膠粘工藝,顯著改善了應變式傳感器的長期穩定性 及抗蠕變特性,使產品使用的溫度范圍大為擴展。由于沒有活動部件,抗震動和抗沖的能力很強, 可用于惡劣的環境
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