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更新時間:2024-11-19
廠商性質:代理商
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ALICAT 高壓氣體質量流量計 20Q系列應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環境監測 ● 真空行業及鍍膜
● 汽車制造 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
● 工業爐窯 ● 半 導 體
● 光 伏
產品特色
● 準確。流量測量具有NIST可溯源精度,還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。
● 使用簡單。只要您打開氣體質量流量計,氣體質量流量計便能顯示您所選工藝設備中的實時流量、壓力和溫度讀數。
● 連接。艾里卡特氣體質量流量計默認采用數字與模擬兩種通訊方式;訂購時,可選擇以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通訊,方便與您的數字工業或實驗室網絡整合。
量程為10 SCCM - 3000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指標升級:
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程(取最大值)
測量范圍 0.1 ~ 100%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體,請參考背面氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體,用戶可現場選擇
量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM
測量范圍 0.5% ~ 100%滿量程
最大顯示流量 128%滿量程
顯 示 屏 帶背光按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級部分見左下角
重 復 性 ± 0.2%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃(從25 ℃開始)
± 0.01%滿量程/ Atm(從校準壓力開始)
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀數/ ℃(從25 ℃開始)
± 0.1 %讀數/ Atm(從校準壓力開始)
響應時間 優于10 ms 預熱時間 < 1 s
默認標況(STP) 25 ℃ & 1Atm(其它標況可調)
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)
溫度精度 ± 0.75 ℃ 工作濕度 0 ~ 95%
最大工作壓力 320 psi絕壓
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus、
EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS
模擬輸出信號 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4 - 20 mA
可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9 - 24 VDC (12 - 24 VDC用于4-20 mA輸出)
供電電流 40 mA (+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10 VDC)
電氣接口 DB9M,可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率(外漏) 選擇HLCP選項,泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 質 302,303,304,316L不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、硅橡膠、
聚酰胺、環氧樹脂、金、硅、玻璃。
如果您申請需要其它材料,請聯系我們。
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求 防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA (可選)
(需另行訂購)
過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件
MQ系列高壓氣體質量流量計(電源需另行訂購)
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書
滿量程質量流量計 | 滿量程壓損(PSID) 排氣到大氣中 | 外觀尺寸1 | 過程連接尺寸2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 3.9''H x 2.4''W x 1.1''D | M-5 (10-32)(內螺紋) (Buna-N表面密封至1/8''NPT內螺紋) |
100 SCCM ~ 20 SLPM | 1.0 | 4.1''H x 2.4''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 內螺紋 |
50 SLPM | 2.0 | 4.4''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/4'' NPT 內螺紋 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/2'' NPT 內螺紋 |
500 SLPM | 4.0 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 3/4'' NPT 內螺紋 |
1000 SLPM | 6.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 內螺紋 |
注1、公制數據見圖紙; 2、與Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容,也可根據要求連接VCR和SAE。 |